高档质量流量计

MODEL 3100 SERIES

MODEL 3100系列是基于MODEL 3200系列开发的用于高精度流量测量的新型质量流量计。
这种高级型号采用新型低压力毛细管流量传感器,可确保高速响应和长期稳定性。

  • 配备温度跟踪式电流差检测型流量传感器,实现高精度,高速响应
  • F.S.1 SCCM微流量支持(SR选项)

尺寸图

标准规格

流量范围
(N2转换20°C / 1 ATM)
1SCCM~20SLM(可选)
传感器方式 热绕组传感器
响应速度 1秒内
准确性 ±1%FS(15~35°C)
再现性 在±0.2%FS(20°C)内
耐压 980kPa(G)
He泄漏率(* 1) 1 x 10-8 Pa.m3/s以下
允许周围温度 0~50℃
允许环境湿度 10~90%RH(无结露)
气体接触材料 车身SUS316L
密封材料FKM(选件CR或NBR或Kallets)
电气连接 Dsub 9针KFC标准(符合SEMI标准)
流量输出信号 0~5 VDC(外部负载电阻250kΩ以上)
所需电源 +15 VDC(±5%)100 mA
-15 VDC(±5%)100 mA
接头
(体型)
标准1 / 4F 900(9 / 16.18 UNF)
选项1/8 F900,1 / 4 UJR,Rc1 / 4等
重量 约800g

(* 1)不含渗透。
长期渗透引起的泄漏量(参考值)为1×10-6Pa・m3 / sec以下。

警告

流量范围附带的规格(流量范围,精度,响应性等)是N2或空气转换中的规格。
另外,生产规格条件是初级侧小于300kPa,次级侧向大气开放。
有关压力条件,请另行咨询。

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