PI质量流量控制器

MODEL ST-500 SERIES

  • PI…Pressure Insensitive 压力变动也可控制流量稳定
  • 采用隔膜式的全金属密封MFC, 经过EP 处理以及氧化覆膜处理, 可以对应腐蚀性流体
  • DeviceNet・EtherCAT通信对应
  • W型密封圈接头
  • "使用SP.精度高精度计测
    全流量控制范围响应性1sec以内"
  • 可使用专用软件进行量程切换

尺寸图

科赋乐精密仪器(上海)有限公司
科赋乐精密仪器(上海)有限公司

标准规格

MODEL ST-500
传感器类型 热式绕组传感器
阀 门 比例电磁阀(断电时关闭)
流量量程(N2计算) 100SCCM~10SLM 30SLM
控制范围 2~100%F.S.
响应性 lsec以内
精度 ±1%S.P. (10~100%F.S.) ±0.1%F.S. (2~10%F.S.)
重现性 ±0.2%F.S.
动作压差 50~300kPa 200~300kPa
入口最大压力 300kPa(G)
耐压 1MPa(G)
PI机能 Overshoot±2%F.S.
外部泄露率 1×10-11Pa ·m3/sec以下
允许环境温度 5~50℃
允许环境温度 15~40℃
精度保证温度 0~60℃
允许保存湿度 0~80%RH(未出现冷凝)
接触气体部位材质 SUS316L、PTFE、Au、Co-Ni
通讯接口 DeviceNet M12(Male)5pin
电源 11~25VDC(5VAmax)
接头尺寸

1.125”Wシール92mm
1/4VCR相当

重量 约1000g

※保证精度以N2 为准
※PI功能规格为流量 SV5~100%F.S.范围内对±3%PSI的供给压力变动
※规格、外观等有可能发生变化

PI 机能

传统的质量流量控制器,会有一个课题就是,在供给侧的压力发生急速变化时,瞬间流量发生大的变化,控制会变的不稳定。ST-500配备了解决这个课题的PI功能(PI…Pressure Insensitive 圧力鈍感性)

在流量传感器前段搭载压力传感器,因此讲捕捉到压力变动以及变动前的变化,实时修正阀的开度,达成针对压力变化也可以稳定控制流量。适用于半导体设备制造 等,对于安定性和正确性等有要求的气体供给工艺。

传统质量流量控制器

科赋乐精密仪器(上海)有限公司

PI质量流量控制器

科赋乐精密仪器(上海)有限公司

订购方法

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