用于精确的流量测量控制 装备有精密针阀的流量计

MODEL RK1200 SERIES

这是一款高级阀门流量计,结合了高精度流量计和可精确控制流量的针阀。
该制品非常适用于计量控制微小流量。

  • 可实现超小流量控制
  • 使用精密针阀
  • 下方阀门和上方阀门两种类型
  • 种类丰富

用途

  • 用于整合设备
  • 用于半导体相关的燃气设备
  • 用于生物工业
  • 用于真空管路控制
     

使用示例

尺寸图

标准规格

  气体 流体
流体名称 Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2(50 L/MIN以下为实际气体校准)
其他气体在转换后进行校准,实际气体校准请另行咨询
※选项:2种流体刻度
标准流体(H2O)
其他气体在转换后进行校准
(但是,会产生与实际液体的误差。)
流量范围 0.5~5 ML / MIN至10~100 L / MIN(参考容量列表)
※选项:0.5~3ML / MIN
0.5~5ML / MIN至0.2~2 L / MIN(参考容量列表)
※选项:0.5~3ML / MIN
精度 FS±2%(计量点)※选项:FS±1%(计量点) FS±2%(计量点)
耐压 100ML / MIN以下:1.0MPa
5L / MIN以下:0.7MPa
10L / MIN以上:0.5MPa
5ML / MIN以下:1.0MPa
150ML / MIN以下:0.7MPa
200ML / MIN以上:0.5MPa
有效刻度 10:1 ※选项20:1

 

材质 SS制 RS制
主体区块 SUS316 黄铜
锥形管 硬玻璃
密封材料 氟橡胶 NBR
浮标 硬质玻璃,SUS316
保护罩 丙烯
最高使用温度 60℃
连接端口 Rc1 / 4(标准)

容量列表

可选规格

  • F.S. ±1%(计量点)
  • 0.5~3ML / MIN空气(大气压)规格
    注)仅限全长为120mm的情况。
  • 全氟醚橡胶O型圈规格
    注)没有用于关闭针部的O型圈。
    注)气体1L / MIN以下无过滤器。
  • 双刻度规格
  • 20:1刻度规格

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