低泄漏流量测量控制用 波纹管针阀流量计

MODEL RK1500 SERIES

该装置是配有波纹管密封针阀的流量计,设计用于承受高真空,高压,高温,有毒气体等的使用。

  • 所有产品均使用氦气检漏仪进行泄漏检测,因此具有高度可靠的泄漏检测能力。
  • 因为是波纹管密封型装置,不存在针阀轴泄漏的可能性。
  • 流体接触部分的材料只使用SUS316、氟树脂、氟橡胶和硬质玻璃,因此具有优异的耐腐蚀性
  • 具有高精度再现性和稳定性的流量计,由采用精密模塑的三氟甲磺酸酯、肋导向流量计管和超精密球组成,装设有流畅流量特性的精密针阀。

用途

  • 用于真空设备
  • 用于半导体生产线

使用示例

尺寸图

标准规格

  气体 流体
流体名称 Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2(实际气体校准)
其他气体在转换后进行校准,实际气体校准请另行咨询
※选项:2种流体刻度
标准流体(H2O)
其他气体在转换后进行校准
(但是,会产生与实际液体的误差。)
流量范围 0.5~5 ML / MIN至3~30 L / MIN(参考容量列表)
※选项:0.5~3ML / MIN
0.5~5ML / MIN至0.1~1L / MIN(参考容量列表)
※选项:0.5~3ML / MIN
精度 FS±2%(计量点)※选项:FS±1%(计量点) FS±2%(计量点)
耐压 100ML / MIN以下:1.0MPa
5L / MIN以下:0.7MPa
10L / MIN以上:0.5MPa
5ML / MIN以下:1.0MPa
150ML / MIN以下:0.7MPa
200ML / MIN以上:0.5MPa
有效刻度 10:1 ※选项20:1

 

材质 SS制
主体区块 SUS316
锥形管 硬玻璃
密封材料 氟橡胶
浮标 硬质玻璃,SUS316
保护罩 丙烯
最高使用温度 60℃
连接端口 1 / 4F 900(标准),1/8 F 900(可选),1/4 UJR(选项)* O形密封圈的标准规格(可选配焊接密封)

容量列表

可选规格

  • F.S. ±1%(计量点)
  • 0.5~3ML / MIN空气(大气压)规格
    注)仅限全长为120mm的情况。
  • 全氟醚橡胶O型圈规格
    注)没有用于关闭针部的O型圈。
    注)气体1L / MIN以下无过滤器。
  • 双刻度规格
  • 20:1刻度规格

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