高档质量流量控制器

MODEL 3200 SERIES

MODEL 3200系列是新型质量流量控制器,是3910系列的后续产品,已在半导体,液晶,燃烧,分析和生物等广泛领域得到验证。
它是一种适用于新Cofflock标准的高性能型号。

  • 配备温度跟踪式电流差检测型流量传感器,实现高精度,高速响应
  • 采用常闭阀门,方向操作安全
  • 采用隔膜阀,减少死体积
  • F.1. SCCM分钟流量支持(SR选项)
  • 低压差兼容燃气控制(LP选项)

标准规格

流量范围
(N2转换20°C / 1 ATM)
1SCCM~20SLM(任意条件选择)
传感器方式 热绕组传感器
阀门方法 比例螺线管阀门(未通电时关闭)
控制范围 2~100%(F.S.)
响应速度 1秒内(±2%FS内)
准确性 ±1%FS(15~35°C)
再现性 ±0.2%F.S.
操作压差范围 F.S.≤5SLM 50. 300 kPa(G)
F. S.> 5 SLM 100. 300 kPa(G)
选项:低压差规格(LP)可根据条件制造
可工作压力 300kPa(G)以下
耐压 980kPa(G)
He泄漏率(* 1) 1 x 10-8 Pa.m3/s以下
允许周围温度 0~50℃
允许环境湿度 10~90%RH(无结露)
气体接触材料 车身SUS316L
隔膜SUS316
阀座PTFE
电气连接 Dsub 9针KFC标准(符合SEMI标准)
流量设定
输入信号
0~5VDC
(输入阻抗1MΩ以上)
流量输出信号 0~5 VDC(外部负载电阻250kΩ以上)
所需电源 +15 VDC(±5%)100 mA,-15 VDC(±5%)200 mA
配件(车身尺寸) 标准1 / 4F 900(9 / 16.18 UNF)
选项1/8 F900,1 / 4 UJR,Rc1 / 4等
重量 约1000g

(* 1)不含渗透。
长期渗透引起的泄漏量(参考值)为1×10.6Pa•m3 / sec以下。

警告

流量范围附带的规格(流量范围,精度,响应性等)是N2或空气转换中的规格。
另外,生产规格条件是初级侧小于300kPa,次级侧向大气开放。
有关压力条件,请另行咨询。

尺寸图

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