低压调节专用精密调节器 压力调节阀

MODEL 6610 SERIES

与MODEL6600相比,新开发的本仪器在低压侧精度更高,重现性更好,能够快速准确地进行压力调节。
本产品最适合用于高灵敏度的分析仪器、研究开发或半导体制造设备。

  • 具有低压侧高精度控制的特性
    将压力设为0.01〜0.15MPa,在此条件下对于一次侧压力变化、二次侧负荷电阻变化,具有重现性在±1%以内的高控制性能。
  • 不使用润滑油
    接触气体部分由不锈钢、氟橡胶、氟树脂制成,不使用任何润滑油,最适合需要保持纯净状态的半导体领域等。
  • 防松螺母结构
    通过防松螺母固定设定过一次的压力调节位置,可防止设定发生变化。
  • 不渗液型
    本产品属于不渗液型,不会发生气体外泄,请您放心使用。

用途

  • 用于气相色谱仪
  • 用于高纯度气体控制
  • 用于低压控制设备
  • 用于半导体领域等
     

尺寸图 

标准规格

流体 各种气体
一次侧最大压力 0.4MPa
二次侧控制压力 0.01〜0.15MPa
最大流量 5L/MIN
最小工作压差 0.1MPa以上
耐压力 0.8MPa
重现性 在额定压力的±1%范围内
环境温度 5〜60℃
接口 Rc1/8
流体接触部分材质 SUS316、氟橡胶、硬质玻璃
氟树脂、SUS304、SUS303


流量特性

特殊规格

  • 标准规格以外的接头。

订购方法

  • 指定接口接头时,仅指定IN OUT接头。
    仪表端口为止水栓。
  • 压力表口等价于OUT口。
    可任意将某处设为表口或OUT口。
     

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