数字质量流量控制器

MODEL DF-250C SERIES

DF-250系列是一款高性能数字质量流量控制器,可在1秒内(所有区域)实现低于50 SLM的响应。
该系列提供高达500 SLM的高流量系列。

  • 标准气体用真实气体校准
  • ~50 SLM在整个区域内1秒内快速响应
  • 从10SCCM到500SLM的阵容
  • 标准配备通讯功能(RS485)
  • RoHS。符合CE标准

DF-250C标准规范

传感器方式 热绕组传感器
阀门方式 比例电磁阀(未通电时关闭)
目标气体(* 1) N2,空气,H2,He,Ar,O2,CO2等
(未描述的气体是N2当量校准)
空气,N2
流量范围(* 2) 10 SCCM到10 SLM 20至50 SLM
(二氧化碳:20至30 SLM)
100,150 SLM 200,300 SLM 400,500 SLM(* 3)
控制范围 2~100%(F.S.) 5~100%(F.S.)
响应速度 总流量控制范围在1秒内
(wihtin±2%F。S.)
1.5秒或更短
10%或更少是3秒或更短
(在±2%F。内)
2秒或更短(±2%FS内)
L:50.149kPa H:150.300kPa L:150.249kPa H:250.350kPa L:200。299kPa(* 9)H:300。350kPa
精度(* 4) ±1.0%F.S. ±2.0%F.S.
再现性 ±0.25%F.S. ±0.5%F.S.
工作压差(* 5) 50至300千帕
(Ar,CO2:100至300 kPa)
100至300千帕
(Ar,CO 2:150至300 kPa)
150至350千帕 200 SLM:200至350 kPa
300 SLM:250至350 kPa
400 SLM:200至350 kPa
500 SLM:250至350 kPa
最大入口压力 500kPa(G)
耐压 980kPa(G)
He泄漏率(* 6) 1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下 1 x 10-7 Pa.m3 / sec以下
温度 工作温度 5~50℃
精度保证温度 15~35℃
允许储存温度 -10~60℃
允许工作湿度 10~90%RH (无结露)
气体接触材料 SUS316,SUS316L,磁性不锈钢,Ni,PTFE,PCTFE,FKM
电气连接 D-sub 9针KFC标准(符合SEMI标准),
RJ-45模块化插孔x 2
D-sub 9针KFC标准(符合SEMI标准),
HR-10A×2
流量设定信号 0~5 VDC(输入电阻约1MΩ)
流量输出信号 0~5 VDC(负载电阻10kΩ以上)
数字通信 使用RS485旋转开关设置地址:最多99(9600 bps)
所需电源(DC) +15 VDC(±5%):150 mA,
-15 VDC(±5%):150 mA
+15 VDC(±5%):150 mA,
-15VDC(±5%):250mA
24 VDC(±10%):450 mA(DC插孔.D-sub)
接头(* 7) 1 / 4F 900(标准),1/4 UJR,Rc1 / 4 1/2 SW(标准),3/4 SW
安装姿势 推荐水平方向
重量(* 8) 约850g 约1000g 约2250g 约3500g

(* 1)应为干燥气体,清洁气体,无腐蚀性成分,灰尘,雾气等。

(* 2)流量校准单元SCCM和SLM是在0°C和1 atm下转换为质量流量cc / min和L / min的值。

(* 3)工作压力范围内的输出流量为1%或更低。

(* 4)流量范围的精度(最大满量程)。

(* 5)工作压差可能因规格而异。

(* 6)不含渗透。
长期渗透引起的泄漏量(参考值)为1×10.6Pa·m3 / sec以下。

(* 7)如需其他接头,请另行询问。

(* 8)没有配件的重量。

(* 9)300 SLM,500 SLM将为L:250。299 kPa。

尺寸图

(* 8)对于50 SLM或更低,请参考DF-200C尺寸。

接线连接

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