它是一款全金属MFC,配备高速绕线传感器,具有出色的内部开发稳定性。
SEMI兼容106mm(可选择124mm)表面,RS485通信是标准配置。
高精度腐蚀性气体兼容产品,1.0%SP。
- 金属密封结构
- 高速应答及出色的零点稳定性
- 0-5V或4-20mA输入/输出信号,电源
可从±15 V或24 V单电源选择
□电源连接器采用通用性较高的D-sub9针连接器 - 通过切换旋转开关,可以使用主机中登记的气体类型。
※流量是与N2气体的比率计算出的值 - 标准配备通讯功能(RS485)
- 符合RoHS•CE标准
EX-550标准规格
形式 | 质量流量控制器 EX-550C |
质量流量计 EX-550M |
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传感器方式 | 热绕组传感器 | ||
阀门方式 | 比例螺线管阀门(未通电时关闭) | – | |
目标气体(* 1) | N2,Air,H2,He,Ar,O2,CO2等 (未列出的气体换算成N2) |
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流量范围(* 2) | 10 SCCM~5 SLM | ||
控制范围(测量范围) | 2~100%(F.S.) | ||
响应速度 | 总流量控制范围在1sec内(within±2%F.S.) | ||
L:50kPa~149kPa H:150kPa~300kPa | – | ||
精度 | ±1.0%SP(25%FS至100%FS),±0.25%FS(25%FS) | ||
再现性 | ±0.2%F.S. | ||
工作压差(* 3) | 50~300 kPa(Ar,CO2:100 kPa~300 kPa) | – | |
最大入口压力 | 350kPa(G) | ||
耐压 | 980kPa(G) | ||
He泄漏率 | 1 x 10-11 Pa.m3 / sec以下 | ||
温度 | 允许周围温度 | 5~50℃ | |
精度保证温度 | 15~35℃ | ||
允许储存温度 | -10~60℃ | ||
允许环境湿度 | 10~90%RH (无结露) | ||
气体接触材料 | SUS316L,磁性不锈钢,PTFE,Ni-Co | ||
电气连接 | Dsub 9针KFC标准(符合SEMI标准) HR-10A×2 |
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流量设定输入信号 | 0~5 VDC(输入电阻约1MΩ) Or 4~20mA(输入电阻约250Ω) |
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流量输出信号 | 0~5 VDC(负载电阻10kΩ以上) or 4~20mA(负载电阻500Ω以下) |
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数字通信 | 通过RS485旋转开关设置地址 | ||
所需电源(DC) | +15 VDC(±5%)100 mA以下,-15 VDC(±5%)150 mA以下 or+ 24VDC(±10%)180mA以下(MFM都为100mA以下) |
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接头 | 相当于1/4 VCR | ||
安装姿势 | 未指定 | ||
重量 | 约800g | 约550g |
(* 1)干燥气体,不含腐蚀性成分和灰尘,雾气等的干净气体。
(* 2)流量单位SCCM、SLM是将质量流量换算成0℃、1atm状态下的体积流量cc/min、L/min值。
(* 3)工作压差可能因规格而异。