5410型是一种质量流量计，具有进一步改进的基本性能。
虽然外观是传统产品，但传感器驱动方法已得到改进，以减少零漂移。
它是一种通过金属密封结构具有高气密性的产品，并增加了切口接头。
- 提高每个流量范围的精度
- 适用于微流量（选项规格）
- 由于无焊接结构（VCR规格），金属密封，泄漏低
- 价格便宜
标准规格
| 流量范围 （N2转换20°C / 1 ATM） |
1SCCM~20SLM（任意条件选择） | |
|---|---|---|
| 传感器方式 | 热绕组传感器 | |
| 准确性 | ±1％F.S.（20°C） | |
| 温度系数 | 0.1％F.S./°C（15~35°C） | |
| 再现性 | ±0.2%F.S.（20°C）内 | |
| 可工作压力 | 300kPa（G）以下 | |
| 耐压 | 980kPa（G） | |
| He泄漏率 | 1 x 10-11 Pa.m3/s以下 | |
| 允许周围温度 | 0~50℃（精度保证温度15.35°C±0.1％FS /°C） | |
| 允许环境湿度 | 10~90%RH（无结露） | |
| 气体接触材料 | 车身SUS316L | |
| 隔膜Ni.Co | ||
| 阀座PTFE | ||
| 密封材料SUS316L，Ni | ||
| 电气连接 | Dsub 9针KFC 标准（符合SEMI标准） | |
| 流量设定 输入信号 |
0~5 VDC（最小负载电阻250kΩ以上） | |
| 所需电源 | +15 VDC（±5％）100 mA， -15 VDC（±5％）100 mA |
|
| 配件（车身尺寸） | 标准1/4 VCR等效 | |
| 重量 | 约800g | |
警告
流量范围附带的规格（流量范围，精度等）是N2或空气转换中的规格。
有关MFC规格，请单独查询。
接线连接
Dsub 9针KFC标准引脚排列
尺寸图
