质量流量控制器/仪表,可与单个24 V电源一起使用,作为8300型的后续产品。
它配备了传统型号中没有的功能,例如改变显示部分的显示点和图案设置,并且抗噪声能力得到了显着提高。
我们还准备了一个模型,可以将显示设置单元分离为姐妹模型。
- 通过高升程执行器实现小体积的高流量执行器
- 配备显示定位器,只需24 VDC电源即可运行
- 标配RS232C / RS485通讯功能和集成功能
- 通过安装14位转换器,可以显示/操作4.1 / 2位数
- 由于传感器加热部件不与气体接触,因此可以控制可燃气体的流量
- 不要选择安装姿势
- 除SV设置外,还可以进行5种图案设置
- 配备自动归零和自动关闭功能
- 燃气控制的低压差规格(LP选项:仅限8500)
标准规格
模型 | 8500 MC / MM | 8550 MC / MM | |
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流量范围 (N2转换20°C / 1 ATM) |
10SCCM~20SLM (任意选择) |
30SLM~100SLM (任意选择) |
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传感器方式 | 热绕组传感器 | ||
阀门方法(* 1) | 比例螺线管阀门(未通电时关闭) | ||
控制范围(* 1) | 2. 100%(F.S.) | 5. 100%(F.S.) | |
响应速度(* 1) | 在2秒内 (在±2%F.S.内) |
在3秒内 (在±2%F.S.内) |
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精度 | ±1.0%F.S.(25°C) | ±1.5%F.S.(25°C) | |
温度系数 | 0.1%F.S./°C(15~35°C) | 0.2%F.S./°C(15~35°C) | |
再现性 | ±0.5%F.S. | ||
操作压差范围 (*1) |
F.S.≤5SLM 50~300 kPa(G) | F.S.≤50SLM 150~300 kPa(G) | |
F. S.> 5 SLM 100~300 kPa(G) | F. S.> 50 SLM 200~300 kPa(G) | ||
可选:中压差压规格(MP),低压差规格(LP)可根据条件制造 | |||
工作压力(* 1) | 980kPa(G) | ||
He泄漏率(* 2) | 1 x 10-8 Pa.m3/s以下 | ||
允许周围温度 | 5~45℃ | ||
允许环境湿度 | 10~90%RH(无结露) | ||
气体接触材料 | 主体SUS316,SUS316L,磁性不锈钢 | ||
阀座FKM(选件CR或NBR) | |||
密封材料FKM(选件CR或NBR) |
模型 | 8500 MC / MM | 8550 MC / MM | |
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电气连接 | Dsub半间距20针Hirose DX10M.20S | ||
流量设定 输入信号(* 1) |
0.5VDC(输入阻抗100kΩ以上)或4.20mA选择 | ||
流量输出信号 | 选择0~5 VDC(外部负载电阻250kΩ或更高)或4~20 mA(外部负载电阻300Ω或更低) | ||
通讯 | RS232C(3线式)或RS485(3线式)选择 | ||
其他功能 | 瞬时流量·集成流量切换显示功能(7段LED 4位数 显示精度±1%总显示0000.9999 MAX), 报警输出(NPN开路集电极输出2点最大额定DC 35 V 50 mA),模式设定(5种模式)功能 |
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所需电源 | 24 VDC±10%(5%纹波)电流消耗300mA或更低 | ||
接头 (体型) |
标准Rc1 / 4等 选项1 / 4F900(9 / 16-18UNF),1/8 F 900,1 / 4 UJR |
标准Rc 3/8等 备选案文3 / 8F 900(9 / 16.18 UNF), 1 / 2F900,3 / 8 UJR |
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重量 | 约1200g | 约1500g |
(* 1)仅适用于质量流量控制器类型。
(* 2)不含渗透。
长期渗透引起的泄漏量(参考值)为1×10-6Pa・m3 / sec以下。
警告
流量范围附带的规格(流量范围,精度,响应性等)是N2或空气转换中的规格。
另外,生产规格条件是初级侧小于300kPa,次级侧向大气开放。
有关压力条件,请另行咨询。