该装置是配有波纹管密封针阀的流量计，设计用于承受高真空，高压，高温，有毒气体等的使用。
- 所有产品均使用氦气检漏仪进行泄漏检测，因此具有高度可靠的泄漏检测能力。
- 因为是波纹管密封型装置，不存在针阀轴泄漏的可能性。
- 流体接触部分的材料只使用SUS316、氟树脂、氟橡胶和硬质玻璃，因此具有优异的耐腐蚀性
- 具有高精度再现性和稳定性的流量计，由采用精密模塑的三氟甲磺酸酯、肋导向流量计管和超精密球组成，装设有流畅流量特性的精密针阀。
用途
- 用于真空设备
- 用于半导体生产线
使用示例
尺寸图
标准规格
| 气体 | 流体 | ||
|---|---|---|---|
| 流体名称 | Air，N2，O2，H2，He，Ar，CO2（实际气体校准） 其他气体在转换后进行校准，实际气体校准请另行咨询 ※选项：2种流体刻度 |
标准流体（H2O） 其他气体在转换后进行校准 （但是，会产生与实际液体的误差。） |
|
| 流量范围 | 0.5~5 ML / MIN至3~30 L / MIN（参考容量列表） ※选项：0.5~3ML / MIN |
0.5~5ML / MIN至0.1～1L / MIN（参考容量列表） ※选项：0.5~3ML / MIN |
|
| 精度 | FS±2％（计量点）※选项：FS±1％（计量点） | FS±2％（计量点） | |
| 耐压 | 100ML / MIN以下：1.0MPa 5L / MIN以下：0.7MPa 10L / MIN以上：0.5MPa |
5ML / MIN以下：1.0MPa 150ML / MIN以下：0.7MPa 200ML / MIN以上：0.5MPa |
|
| 有效刻度 | 10：1 ※选项20：1 | ||
| 材质 | SS制 | |
|---|---|---|
| 主体区块 | SUS316 | |
| 锥形管 | 硬玻璃 | |
| 密封材料 | 氟橡胶 | |
| 浮标 | 硬质玻璃，SUS316 | |
| 保护罩 | 丙烯 | |
| 最高使用温度 | 60℃ | |
| 连接端口 | 1 / 4F 900（标准），1/8 F 900（可选），1/4 UJR（选项）* O形密封圈的标准规格（可选配焊接密封） | |
容量列表
可选规格
- F.S. ±1％（计量点）
- 0.5~3ML / MIN空气（大气压）规格
注）仅限全长为120mm的情况。 - 全氟醚橡胶O型圈规格
注）没有用于关闭针部的O型圈。
注）气体1L / MIN以下无过滤器。 - 双刻度规格
- 20：1刻度规格
One thought to “低泄漏流量测量控制用 波纹管针阀流量计”
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