5100系列是一款质量流量控制器,它实现了无焊接结构(VCR规格),金属密封的基本性能,以及半导体工艺气体控制所需的±1%精度。
板载传感器的响应能力。它具有出色的分辨率,可以处理1 sccm(N2)的微流量。
- 通过使用温度跟踪型电流差检测流量传感器实现高精度,高速传感器响应
- 采用电磁铁电磁阀常闭阀
- 由于无焊接结构(VCR规格),金属密封,泄漏低
- 采用隔膜阀,减少死体积
- 面对面,体型和接线连接与其他公司的更换兼容
标准规格
流量范围 (N2转换20°C / 1 ATM) |
1SCCM~20SLM(任意条件选择) | |
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传感器方式 | 热绕组传感器 | |
阀门方式 | 比例螺线管阀门(未通电时关闭) | |
控制范围 | 2~100%(F.S.) | |
响应速度 | 1秒内(±2%F.S.内) | |
准确性 | ±1%F.S. | |
温度系数 | 0.1%F.S./°C(15~35°C) | |
再现性 | ±0.2%F.S. | |
操作压差范围 | F.S.≤5SLM50. 300kPa | |
F. S.> 5 SLM 100. 300 kPa | ||
选项:低压差规格(LP)可根据条件制造 | ||
可工作压力 | 300kPa(G)以下 | |
耐压 | 980kPa(G) | |
He泄漏率 | 1 x 10-11 Pa.m3/s以下 | |
允许周围温度 | 0~50℃ | |
允许环境湿度 | 10~90%RH(无结露) | |
气体接触材料 | 车身SUS316L | |
隔膜SUS316L | ||
阀座PTFE | ||
密封材料SUS316L,Ni,Au | ||
选项:SUS密封(SU),内部磨削规格(KP) | ||
电气连接 | Dsub 9针KFC 标准(符合SEMI标准) | |
流量设定 输入信号 |
0~5 VDC(输入阻抗1MΩ以上) | |
流量输出信号 | 0~5 VDC(外部负载电阻250kΩ以上) | |
所需电源 | +15 VDC(±5%)100 mA, -15 VDC(±5%)200 mA |
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配件(车身尺寸) | 标准1/4 VCR等效选项1/4 SWL | |
重量 | 约1000g |
警告
流量范围附带的规格(流量范围,精度,响应性等)是N2或空气转换中的规格。
另外,生产规格条件是初级侧小于300kPa,次级侧向大气开放。
有关压力条件,请另行咨询。
接线连接
Dsub 9针KFC标准引脚排列