数字质量流量控制器

MODEL DF-200C SERIES

DF-200系列是一款高性能数字质量流量控制器,可在1秒(全范围)内实现±1%SP的精度和响应。
此外,它兼容多气体和多量程,可轻松更换包括参考气体在内的7种气体及其流量范围,使其成为具有出色通用性的产品。

  • 高精度(±1%SP),高速响应(1秒内所有区域)
  • 支持多量程和多种气体
  • 标准配备通讯功能(RS485)
  • RoHS。符合CE标准

DF-200C标准规范

传感器方式 热绕组传感器
阀门方式 比例电磁阀(未通电时关闭)
目标气体(* 1) 多气体:
N2(空气,H2,He,Ar,O2,CO2)(* 2)
流量范围(* 3) 10/30/50/100/300/500 SCCM,1/3/5/10 SLM(* 2)
控制范围 2至100%(F.S.)
反应能力(* 4) 总流量控制范围在1秒内(±2%F.S.)
L:50kPa~149kPa H:150kPa~300kPa
精度(* 5) ±1.0%SP(> 35%F。S.),
±0.35%F。S.(≦35%F。S.)
再现性 ±0.25%FS
工作压差(* 6) 50至300 kPa(Ar,CO2:100.300 kPa)
最大入口压力 500kPa(G)
耐压 980kPa(G)
He泄漏率(* 7) 1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下
温度 允许周围温度 5~50℃
精度保证温度 15~35℃
允许储存温度 -10~60℃
允许环境湿度 10~90%RH (无结露)
气体接触材料 SUS316,SUS316L,磁性不锈钢,Ni,PTFE,PCTFE,FKM
电气连接 D-sub 9针KFC标准(符合SEMI标准),RJ-45模块化插孔x 2
流量设定信号 0至5 VDC(输入阻抗约1MΩ)
流量输出信号 0至5 VDC(负载电阻10kΩ或更高)
数字通信 使用RS485旋转开关设置地址:最多99(9600 bps)
所需电源(DC) +15 VDC(±5%):150 mA,-15 VDC(±5%):150 mA
接头(* 8) 1 / 4F 900(标准),1/4 UJR,Rc1 / 4
安装姿势 推荐水平方向
重量(* 9) 约850g

(* 1)应为干燥气体,清洁气体,无腐蚀性成分,灰尘,雾气等。

(* 2)使用专用软件,可以更改气体类型或将满量程范围更改为指定满量程(FS)的30%至100%(仅限CO2的30%至80%) 。

(* 3)流量校准单元SCCM和SLM是在0°C和1个大气压下转换为体积流量cc / min和L / min的值。

(* 4)校准气体:保证N2。

(* 5)校准气体:N2,流量范围精度(最大满量程)。

(* 6)工作压差可能因规格而异。

(* 7)不含渗透。
长期渗透引起的泄漏量(参考值)为1×10.6Pa•m3 / sec以下。

(* 8)如需其他接头,请另行询问。

(* 9)没有配件的重量。

尺寸图

接线连接

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