标准质量流量计

MODEL 3760 SERIES

MODEL 3760系列是基于MODEL 3660系列开发的紧凑型低成本质量流量计。
它是作为大学和研究机构研发应用的各种分析仪器和真空设备的标准模型而开发的。

  • 配备流量传感器,采用改进的恒流温差检测方法,实现高速响应
  • 我们不选择紧凑的身体设置的地方

尺寸图

标准规格

模型 3760 3765
流量范围
(N2转换20°C / 1 ATM)
10SCCM~20SLM(可选) 30SLM~100SLM(可选)
传感器方式 热绕组传感器
响应速度 在2秒内 在3秒内
准确性 ±1.0%FS(25°C) ±1.5%FS(25°C)
温度系数 ±0.1%FS /°C(15~35°C) ±0.2%FS /°C(15~35°C)
再现性 ±0.5%F.S.(20°C)
耐压 980kPa(G)
He泄漏率(* 1) 1 x 10-8 Pa.m3/s以下
允许周围温度 5~45℃
允许环境湿度 10~90%RH(无结露)
气体接触材料 车身SUS316L
密封材料FKM(选件CR或NBR)
电气连接 Dsub 9针KFC标准(符合SEMI标准)
流量输出信号 0~5 VDC(外部负载电阻250kΩ以上)
所需电源 +15 VDC(±5%)100 mA,
-15 VDC(±5%)100 mA
接头
(体型)
标准1 / 4F 900(9 / 16.18 UNF)
选项1/8 F900,1 / 4 UJR,Rc1 / 4等
标准3 / 8F 900(9 / 16.18 UNF)
选项1 / 2F 900,3 / 8 UJR,Rc 3/8等
重量 约800g 约1000g

(* 1)不含渗透。
长期渗透引起的泄漏量(参考值)为1×10-6Pa・m3 / sec以下。

警告

流量范围附带的规格(流量范围,精度,响应性等)是N2或空气转换中的规格。
另外,生产规格条件是初级侧小于300kPa,次级侧向大气开放。
有关压力条件,请另行咨询。

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