标准质量流量控制器

MODEL 3660 SERIES

MODEL 3660系列是一款质量流量控制器,主要结构紧凑,成本低廉。
从大学和研究机构的研发应用中,我们作为各种分析仪器和真空设备的标准模型取得了许多成就,我们有各种衍生模型和选项。

  • 配备流量传感器,采用改进的恒流温差检测方法,实现高速响应
  • 采用常闭阀门,方向操作安全
  • 通过电磁执行器确保高可靠性
  • 燃气控制的低压差规格(LP选项:仅限3660)

标准规格

模型 3660 3665
流量范围
(N2转换20°C / 1 ATM)
10SCCM~20SLM(可选) 30SLM~100SLM(可选)
传感器方式 热绕组传感器
阀门方法 比例螺线管阀门(未通电时关闭)
控制范围(* 1) 2~100%(F.S.) 5~100%(F.S.)
响应速度 在2秒内
(在±2%F.S.内)
在3秒内
(在±2%F.S.内)
准确性 ±1.0%F.S.(25°C) ±1.5%F.S.(25°C)
温度系数 ±0.1%F.S./°C(15~35°C) ±0.2%F.S./°C(15~35°C)
再现性 ±0.5%F.S.
操作压差 F.S.≤5SLM 50~300 kPa(G) F.S.≤50SLM 150~300 kPa(G)
F. S.> 5 SLM 100~300 kPa(G) F. S.> 50 SLM 200~300 kPa(G)
可选:中压差压规格(MP),低压差规格(LP)可根据条件制造
压力(* 1) 980kPa(G)
He泄漏率(* 2) 1 x 10-8 Pa.m3/s以下
允许周围温度 5~45℃
允许环境湿度 10~90%RH(无结露)
气体接触材料 主体SUS316,SUS316L,磁性不锈钢
阀座FKM(选件CR或NBR)
密封材料FKM(选件CR或NBR)
电气连接 Dsub 9针KFC标准(符合SEMI标准)
流量设定
输入信号
0~5VDC
(输入阻抗1MΩ以上)
流量输出信号 0~5 VDC(外部负载电阻250kΩ以上)
所需电源 +15 VDC(±5%)100 mA,。15 VDC(±5%)250 mA
接头
(体型)
标准1 / 4F900
(9 / 16.18 UNF)
选项1/8 F900,1 / 4 UJR,Rc1 / 4等
标准3 / 8F 900
(9 / 16.18 UNF)
选项1 / 2F 900,3 / 8 UJR,Rc 3/8等
重量 约1000g 约1500g

(* 1)不含渗透。
长期渗透引起的泄漏量(参考值)为1×10.6Pa•m3 / sec以下。

警告

流量范围附带的规格(流量范围,精度,响应性等)是N2或空气转换中的规格。
另外,生产规格条件是初级侧小于300kPa,次级侧向大气开放。
有关压力条件,请另行咨询。

尺寸图

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