5100系列是一款质量流量控制器，它实现了无焊接结构（VCR规格），金属密封的基本性能，以及半导体工艺气体控制所需的±1％精度。
板载传感器的响应能力。它具有出色的分辨率，可以处理1 sccm（N2）的微流量。
- 通过使用温度跟踪型电流差检测流量传感器实现高精度，高速传感器响应
- 采用电磁铁电磁阀常闭阀
- 由于无焊接结构（VCR规格），金属密封，泄漏低
- 采用隔膜阀，减少死体积
- 面对面，体型和接线连接与其他公司的更换兼容
标准规格
| 流量范围 （N2转换20°C / 1 ATM） |
1SCCM~20SLM（任意条件选择） | |
|---|---|---|
| 传感器方式 | 热绕组传感器 | |
| 阀门方式 | 比例螺线管阀门（未通电时关闭） | |
| 控制范围 | 2~100％（F.S.） | |
| 响应速度 | 1秒内（±2％F.S.内） | |
| 准确性 | ±1％F.S. | |
| 温度系数 | 0.1％F.S./°C（15~35°C） | |
| 再现性 | ±0.2%F.S. | |
| 操作压差范围 | F.S.≤5SLM50. 300kPa | |
| F. S.> 5 SLM 100. 300 kPa | ||
| 选项：低压差规格（LP）可根据条件制造 | ||
| 可工作压力 | 300kPa（G）以下 | |
| 耐压 | 980kPa（G） | |
| He泄漏率 | 1 x 10-11 Pa.m3/s以下 | |
| 允许周围温度 | 0~50℃ | |
| 允许环境湿度 | 10~90%RH（无结露） | |
| 气体接触材料 | 车身SUS316L | |
| 隔膜SUS316L | ||
| 阀座PTFE | ||
| 密封材料SUS316L，Ni，Au | ||
| 选项：SUS密封（SU），内部磨削规格（KP） | ||
| 电气连接 | Dsub 9针KFC 标准（符合SEMI标准） | |
| 流量设定 输入信号 |
0~5 VDC（输入阻抗1MΩ以上） | |
| 流量输出信号 | 0~5 VDC（外部负载电阻250kΩ以上） | |
| 所需电源 | +15 VDC（±5％）100 mA， -15 VDC（±5％）200 mA |
|
| 配件（车身尺寸） | 标准1/4 VCR等效选项1/4 SWL | |
| 重量 | 约1000g | |
警告
流量范围附带的规格（流量范围，精度，响应性等）是N2或空气转换中的规格。
另外，生产规格条件是初级侧小于300kPa，次级侧向大气开放。
有关压力条件，请另行咨询。
接线连接
Dsub 9针KFC标准引脚排列
尺寸图
