波纹管调节阀

MODEL 5330 SERIES

本公司将具有出色的可重现性、耐用性的波纹管型膨胀阀用作分析仪器,独自研发出了这种精密压力调节阀。
本调节阀属于不渗液型,呈无油结构,所用气体不与大气接触,没有污垢,因此在标准气体、半导体领域等高纯度气体的压力控制方面是不可或缺的。

  • 无油结构
    接触气体部分不使用任何润滑油,最适合需要保持纯净状态的标准气体分析器与半导体领域等。
  • 高精度
    一次侧压力变化的重现性、二次侧负荷电阻变化的重现性在±1%以内,精度高。
  • 高稳定性
    均由金属零部件(如金属波纹管)构成,因此具有出色的耐用性,即使长期连续使用也可保持一定压力。
  • 可实现低压差操作
    可以通过20kPa的压差来控制一次侧供给压力和二次侧设定压力之间的压差。
  • 不渗液型
    本产品属于不渗液型型,不会发生气体外泄,请您放心使用。

用途

  • 用于气体混合装置
  • 用于高纯度气体控制
  • 用于低压控制

尺寸图 

标准规格

二次侧压力
设定范围
5330A 9.8〜294kPa
5330B 9.8〜588kPa
一次侧最大压力 784kPa
耐压力 784kPa
重现性 在额定压力的±1%范围内
耐冲击性 在额定压力的±1%范围内
温度特性 0.8MPa
重现性 在额定压力的1%/10℃范围内
环境温度 5〜60℃
接口 Rc 1/4(标准)Rc1/8
流体接触部分材质 (S)SUS304、氟橡胶、氟树脂

特殊规格

  • 标准规格以外的接头。

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